Gasanalyse
Extraktiv, Spurengas
CRDS Laserspektrometer
zur Analyse von Reingasen im Spurenbereich
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sehr schnelle Ansprechzeit, keine Drift, absoluter Nullpunkt
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Detektionsgrenze im ppb- / ppt-Bereich
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interne Nullpunktkontrolle ohne Prüfgas
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Kalibration nicht erforderlich, Betrieb ohne Verbrauchsmaterialien
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unempfindlich gegen Stöße, Vibrationen
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auch für korrosive Gase
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einfache Bedienung, geringste Betriebskosten
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Kontinuierliche on-line Messung
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Interner Messwertspeicher, auch graphische Darstellung
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Digitale Schnittstelle, Fernsteuerung über Serani-Software
Halo / Spark
- Messgase: H2O, CH4, CO, CO2, CH2O, C2H2
- Eingemessen auf Hintergrundgase Ar, He, H2, N2, O2 und Luft, weitere auf Anfrage
- ½ 19“ Einschub mit Touch-Screen Display
Datenblätter
Halo OK
- Messgas O2, Hintergrundgase Ar, He, H2, N2
- 19“ Einschub mit Touch-Screen Display
- Detektionsgrenze ab 50 ppt, abhängig vom Hintergrundgas
- Im Gegensatz zur elektrochemischen Messmethode wartungsarm
Datenblatt
Halo Max QCL
- Messgase CO, CO2, Hintergrundgase Ar, He, H2, N2, O2 und Luft
- 19“ Einschub mit Touch-Screen Display
- Detektion ab 100 ppt, abhängig vom Hintergrundgas
- Im Gegensatz zur GC Messmethode wartungsarm
Datenblatt
T-I Max
- Messgase HF, HCl, NH3 im Reinraum
- ½ 19“ Einschub mit Touch-Screen Display
- Detektionsgrenze 20 ppt HF, 100 ppt HCl, 300 ppt NH3
- Im Gegensatz zum Ionenmobilitätsspektrometer ohne Röntgenquelle